Титан коване на кръгла цел

Titanium Target е продукт на титан с висока чистота след обработката и е изработен от тънък филм чрез физическо отлагане на пари. Използва се като бариерен слой за алуминиеви проводници в полупроводникови чипове.

1. Основни изисквания за изпълнение на титановата цел

(1) Качество на външния вид: Преди да напусне фабриката, титановата цел трябва да се почиства без прах и повърхността трябва да бъде чиста. След завършване на повърхността на титановата цел, грапавостта на повърхността трябва да отговаря на изискванията на клиентите.

(2) Вътрешни дефекти: Не трябва да има включвания, пори, пукнатини и други дефекти вътре в титановата цел.

(3) Състав: Титановата цел е разделена на чиста титанова цел и целева сплав, сплав, включително титанова алуминиева сплав, целта на титан нитрид, титанова сплав боридна цел и др. Чистотата на целевия материал е 99,9%-99. 999%.

(4) Размер на зърното: Целевите зърна от титан са равномерни и фини, а средното зърно обикновено се контролира, за да бъде по -малко от 50 μm.

(5) Текстура: Кристалната ориентация на титановата цел<002>е предпочитан и по -голям или равен на 35%.

(6) Геометричен размер: Размерът на титановата цел варира в зависимост от изискванията за употреба, а диаметърът обикновено е 200-460 mm.

Титановите цели могат да бъдат разделени на единични титанови цели и заварени титанови цели според тяхната структура. Единичната титаниева цел не е необходимо да бъде заварена и обработката на заготовки е интегрирана. Заварена титанова цел е да заварява титановата целева празна с задната плоскост, общите методи за заваряване включват спояване и дифузионно заваряване. Материалите за заваряване на равнина включват заден план за медна и медна сплав, алуминий и алуминиева сплав и др. След заваряване се прави ултразвуково откриване, за да се гарантира, че връзката между целта и заден план има определена якост на свързване, за да се избегнат проблеми като падане и напукване по време на разпръскване. Таблица 9-23 описва изискванията за качество на заваряването на титанови цели.

2. Подготовка на титановата цел

Чистата титаниева цел обикновено се приготвя от горещото натискане на процеса на топене. Целта на титановата сплав се приготвя чрез прахообразна металургия.

Процесът на горещо натискане се основава на титановия слит с висока чистота, получен от топене. Микроструктурата и формата и размерът на заготовката се контролират чрез коване, търкаляне, отгряване и други пластмасови технологии за обработка и след това заготовката е обработена, за да се получи титановата цел. След процеса на коване, търкаляне и отгряване, титановата цел има фино и равномерно зърно и превъзходна текстура, която може да отговаря на изискванията на титановата цел в процеса на разпръскване. Загубата в обработката на топене на прегръдка е голяма, включително загубата в процеса на леене на топене, загубата в процеса на коване и търкаляне, тъй като трябва да се обърне оксидната кора, а загубата в обработката на рязане също е налице, така че крайната скорост на използване е около 80%.

За TIB2, TIAI и други легирани цели е лесно да се напукате по време на коване и е по -подходящ за обработка на металургия на прах, тоест титаниевият прах и добавките се използват като суровини, чрез процеса на смесване на прах, а след това се обработва с гореща пресоваща или гореща изостатична натискаща сила и след това се получава целта на титаниевата алота. Праховата металургия е предпочитаният метод за приготвяне на мишени от титанова сплав, тъй като може да се образува празно наведнъж, има висока скорост на използване на материали и лесно може да добави легиращи елементи. Проблемите на праховата металургия са чистотата на материала, равномерността на състава на сплавта и плътността. Материалните вътрешни дефекти и други аспекти на изискванията за контрол са високи.

Принципът на работа на титановите цели е свързан с поредица от физически и химични реакции и се използва широко при физическо отлагане на пари (PVD), включително разпръскване на магнетрон, разпръскване на йони и други методи. В тези методи титановите цели са ключова суровина.

 

Популярни тагове: Титан Коване на кръгла цел, China Titanium, създаващ производители на кръгли целеви, доставчици, фабрика, Титанови обработени рамки, Титанови обработени части от титаниев клас 6, Титан обработен клас 22 титаниево-титанов титанов части от титан титан, Титан обработен индивидуални части от титан, Титан обработен клас 24 титанови части от титан, Титан обработен клас 22 титанови части от титан